化学物質詳細情報
ケイ化水素
chem_id:SZY01122
CAS RN®:7803-62-5
化学物質名（和名）:ケイ化水素
化学物質名（英名）:MONOSILANE
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化学物質名（別名）
| 物質名称 | 出典 |
|---|---|
| ケイ化水素 | KIS-NET |
| モノシラン | 経済産業省-製造輸入量 |
| MONOSILANE | KIS-NET |
| silane | ICSC（International Chemical Safety Cards） 他 |
| Silicon tetrahydride [Silane] | ACGIH許容濃度 |
物性情報
| 物性項目 | 最小値 | 最大値 | 単位 | 物性 | 出典 |
|---|---|---|---|---|---|
| 外観 | 気体，無色 | KIS-NET | |||
| 臭気 | 悪臭，不快臭 | KIS-NET | |||
| 分子量 | 32.09 | 32.09 | KIS-NET | ||
| 比重 | 0.68 | 1.13 | KIS-NET | ||
| 溶解度記述 | 水中で緩やかに分解 | KIS-NET | |||
| 融点 | -185 | -185 | deg C | KIS-NET | |
| 沸点 | -112 | -112 | deg C | KIS-NET | |
| 燃焼性 | 大気中の室温または加温で自然発火する。 | KIS-NET | |||
| 混合危険性 | 塩素、酸素、四塩化炭素とは激しい反応。 | KIS-NET | |||
| 混合発火危険性程度 | 酸素とは爆発性物質生成の可能性。 | KIS-NET | |||
| 爆発範囲 | 0.8 | 0.8 | % | KIS-NET | |
| 加水分解性 | 水に不安定 | KIS-NET | |||
| 熱分解性 | ４００℃でケイ素と水素に完全に分解する。 | KIS-NET | |||
| その他の化学反応 | 自然発火 | KIS-NET | |||
| 水安定性 | 不安定 | KIS-NET | |||
| 熱安定性 | 不安定 | KIS-NET |
用途
| 用途 |
|---|
| 中間物 |
| その他無機化学製品 |
| 半導体 |
| 液晶 |
| 電池、蓄電池 |
注釈
(注） 2025年3月から農薬用途の情報源やアルゴリズムを変更しました。生物農薬、展着剤などの一部は収集・表示の対象外です。失効農薬についても用途を記載しています。また、本物質（原体）が含まれる農薬製剤の用途を示しているため、必ずしも本物質自体の機能とは限りません。（例：殺虫殺菌剤と表示されていても、両者の機能を有しているとは限らない）
環境基準
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法規制
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対策等
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外部サイト内個別物質ページへのリンク
| 外部サイト名称 | 化学物質名称 | link_url |
|---|---|---|
| ChemiCOCO 化学物質情報検索支援システム | シラン | LINK |
PRTR制度
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環境中濃度測定値
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農薬出荷量
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製造輸入量
| 年度 | 出典 | 官報公示整理番号 | 官報公示整理番号の名称 | 範囲下限（または合計数量） | 範囲上限（または合計数量） |
|---|---|---|---|---|---|
| 2001 | 化学物質の製造・輸入量に関する実態調査 | 1-0735 | モノシラン | 100.00 | 1000.00 |
注釈
(注） 「範囲下限（または合計数量）」と「範囲上限（または合計数量）」が同じ値の場合には「合計数量」を表します。
急性・慢性試験値
| 試験種別 | 生物種 | 経路 | エンドポイント | 暴露時間 | 暴露時間単位 | 最小値 | 最大値 | 単位 | 毒性記述 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 急性・慢性毒性 | ラット | 経気道 | LC50 | 4 | 時間 | 9600 | 9600 | ppm | |
| 急性・慢性毒性 | マウス | 経気道 | LCL0 | 4 | 時間 | 9600 | 9600 | ppm |
発がん性評価
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生態毒性
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リスク評価関連文書の情報源
分類と表示
該当データがありません。
基準値等
該当データがありません。
許容濃度等
| 種類 | 値 | 単位 | 評価機関名 |
|---|---|---|---|
| TLV | 5.00 | ppm | ACGIH |
| OEL | 100 | ppm | 日本産業衛生学会 |
| OEL | 130 | mg/m3 | 日本産業衛生学会 |
注釈
(注） 出典によって更新年月日が異なります。また、掲載している情報が必ずしも最新であるとは限りません。各出典の更新年月日については、「データ出典情報」をご参照ください。
PRTR対象物質選定基準
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事故事例
| 発生日 | 発生時刻 | 事故の名称 | 被害金額(万円) | 死亡者数 | 負傷者数 | 事故の概要 | 事故の原因 | 場所 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1989-12-13 | 15:00:00 | モノシラン爆発 | 1 | 3 | モノシランの容器の取換え作業中クリーンルーム内に設置している制御機器格納部内でモノシランガスが漏洩した。この漏洩の点検作業中ガスが爆発し，作業員に死傷者が出た。 | 自動弁が誤作動して，高圧のシラン，窒素混合気が低圧部に流入し，排気用真空ポンプを損傷させ，漏洩した。漏洩ガスは，ポンプ室，制御室全体に充満した後，爆発した。 | 東京都小平市 | |
| 1990-03-19 | 14:30:00 | 特殊材料ガス（モノシラン）火災 | 0 | 1 | 工場のＣＶＤ装置用ボンベの交換作業中，新ボンベに配管を接続するためにボンベ容器弁口金部の仕切りナットを開けたところ，口金部よりモノシランガスがリークし瞬時に発火した。発火は自然消火した。 | 作業者が容器弁のバルブ閉止を確認しないで仕切ナットをゆるめたため，口金部からガスが噴出漏洩し，自然発火したものである。 | 群馬県高崎市 | |
| 1990-06-21 | 18:00:00 | モノシランガス移充填中のガス漏えい火災 | 11962 | 1 | 充填済みの２８本組モノシランガスボンベ（通称２８本カードル）から精溜塔を経由して１０本カードルへ移充填するためカードルにセットされている個々のボンベの元バルブを開く作業中「パーン」という音とともに漏えいガスが発火し，カードルの元バルブを閉めたが何かの要因でバルブの損傷が大となり，漏えいしたモノシランガスが再び自然発火し火災に至ったもの。この事故でバルブ操作をしていた作業員１名が火傷を負った。 | 容器に付属する特殊バルブに何らかの力が加わり，ダイヤフラムの破損又はスピンドル部の緩みによってもモノシランが漏えいしたと推定。 | 新潟県 | |
| 1991-10-02 | 16:00:00 | 半導体試作実験中の爆発延焼 | 2 | 3 | Ｏ大学研究室で卒論作成の為、教官及び学生ら数名が半導体試作実験中大音響とともに爆発が起き、火災となり、５階の４教室計約３００平方メートルを焼いて約１時間後に消えた。 | 同実験室にはシランガスなどを送り込んでＩＣ用のシリコン薄膜を作る化学蒸着法（ＣＶＤ）装置他、窒素、アルゴン、アンモニアなど６本のガスボンベがあった。ＣＶＤ装置はシランガスを送り込む際、静電気が発生しやすい為、何等かの原因でシランなどの燃性ガスが空気中に漏れ出て引火爆発したものと推定される。又、近くには、ガス漏れ警報装置があったが作動しなかった可能性がある。 | 大阪府豊中市 |
事故時処理内容
| 事故時処理内容 |
|---|
| 水噴霧 |
| 避難を検討する |
| 希釈する |
環境分析法
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