化学物質詳細情報

三塩化シラン

chem_id:DOK01148

CAS RN®:10025-78-2

化学物質名(和名):三塩化シラン

化学物質名(英名):TRICHLOROSILANE

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化学物質名(別名)

物質名称 出典
トリクロロシラン 毒物及び劇物取締法(毒劇法)
三塩化シラン KIS-NET 他
Silane, trichloro- OECD_HPV_SIDS(SIDS:Screening Information Data Set)
trichlorosilane KIS-NET 他

物性情報

物性項目 最小値 最大値 単位 物性 出典
外観 無色の液体,気体 KIS-NET
臭気 刺激臭(気体) KIS-NET
その他特徴 危険物,高い揮発性 KIS-NET
分子量 135.45 135.45 KIS-NET
比重 1.34 1.35 KIS-NET
比重測定温度 0 20 deg C KIS-NET
蒸気密度 4.7 4.7 KIS-NET
溶解度記述 水中で分解 KIS-NET
蒸気圧 400 400 hPa KIS-NET
蒸気圧測定温度 14.5 14.5 deg C KIS-NET
融点 -134 -126.5 deg C KIS-NET
沸点 31.8 31.8 deg C KIS-NET
燃焼性 空気中で容易に発火、-18℃以下でも発火のおそれがある。 KIS-NET
発火点 93 93 deg C KIS-NET
引火点 -6 -6 deg C KIS-NET
混合危険性 水または水蒸気と反応して、熱および有毒で腐食性のガスを生じる。酸化性物質とは激しく反応する。 KIS-NET
爆発範囲 9.8 9.8 % KIS-NET
加水分解性 空気中で加水分解し、塩化水素を発生する。 KIS-NET
熱分解性 熱に不安定 KIS-NET
その他の化学反応 空気中で発煙 KIS-NET
水安定性    不安定 KIS-NET
熱安定性    不安定 KIS-NET

用途

用途
中間物
半導体
その他電子材料等製品

注釈

(注) 2025年3月から農薬用途の情報源やアルゴリズムを変更しました。生物農薬、展着剤などの一部は収集・表示の対象外です。失効農薬についても用途を記載しています。また、本物質(原体)が含まれる農薬製剤の用途を示しているため、必ずしも本物質自体の機能とは限りません。(例:殺虫殺菌剤と表示されていても、両者の機能を有しているとは限らない)

環境基準

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法規制

※基準値等の詳細については、リスクタブの「基準値等」をご覧ください。
法令名称 物質リストの名称 通し番号 対象物質名 リンク
毒劇法 劇物_指定令 第2条第74号の3 トリクロロシラン LINK

注釈

(注1) 同一物質に限らず関連が深いと考えられる法規制を掲載しています。詳細な情報はリンク先をご参照ください。

(注2) 出典によって更新年月日が異なります。また、掲載している情報が必ずしも最新であるとは限りません。各出典の更新年月日については、「データ出典情報」をご参照ください。

対策等

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PRTR制度

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環境中濃度測定値

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農薬出荷量

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製造輸入量

年度 出典 官報公示整理番号 官報公示整理番号の名称 範囲下限(または合計数量) 範囲上限(または合計数量)
2001 化学物質の製造・輸入量に関する実態調査 1-0224 三塩化シラン 1000.00 10000.00

注釈

(注) 「範囲下限(または合計数量)」と「範囲上限(または合計数量)」が同じ値の場合には「合計数量」を表します。

急性・慢性試験値

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発がん性評価

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生態毒性

該当データがありません。

リスク評価関連文書の情報源

年度 評価組織名 リスク評価書名 巻・号 判定 備考 リンク
2002 IPCS ICSC ICSC:0591 TRICHLOROSILANE (Date of Peer Review: March 2002) - LINK
2008 OECD HPV SIDS Chemicals -

分類と表示

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基準値等

該当データがありません。

許容濃度等

該当データがありません。

PRTR対象物質選定基準

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事故事例

発生日 発生時刻 事故の名称 被害金額(万円) 死亡者数 負傷者数 事故の概要 事故の原因 場所
1993-11-19 11:00:00 トリクロロシランガス火災 30 0 0 金属シリコン、テトラクロロシラン、トリクロロシラン等を反応させてトリクロロシランを製造するプラントにおいて未反応金属シリコン分離用サイクロンにピンホールが発生した。サイクロンが保温材で覆われていたため気付かず、噴出したトリクロロシランガス(200℃)が大気中の酸素と接触し自然発火した。 反応器からサイクロンへは、約2000mm水柱の圧力でテトラクロロシラン、トリクロロシランの混合ガスが流入しており、その中には、ダイヤモンドの次に硬いといわれる金属シリコンの微粉が含まれている。この混合ガスが流入口に面したパイプに噴出衝突し、これにより亀裂が発生し、当該亀裂部から真正面のパイプ内側に更に金属シリコン微粉が衝突することとなり、ピンホールが発生したものと考えられる。 熊本県水俣市

事故時処理内容

事故時処理内容
粉末消化剤(ドライケミカル)のみ
避難を検討する
防止堤で囲む

環境分析法

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