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酸化タングステンNO2センサの実用性評価(平成 21年度)
Development research of High Sensitivity NO2 Sensor Using WO3

予算区分
MA 委託請負
研究課題コード
0809MA002
開始/終了年度
2008~2009年
キーワード(日本語)
二酸化窒素,半導体センサ,酸化タングステン
キーワード(英語)
nitrogen dioxide, semiconductor sensor, tungsten oxide

研究概要

酸化タングステン結晶をMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)構造ダイヤフラム上に形成した高感度半導体式NO2センサの実用化を目的に、模擬ガスや道路沿道等の実大気を用いて、試作センサと従来測定法である化学発光式NOx分析計とによる並行測定を行い、開発したセンサの精度、長期測定に対する安定性等を評価し、大気測定用NO2センサとしての実用性を検証する。

研究の性格

  • 主たるもの:技術開発・評価
  • 従たるもの:

全体計画

酸化タングステンNO2センサの実用性を評価するため、初年度は、合成ガスや希釈した自動車排出ガスを用いて、試作NO2センサの感度や共存ガスの影響を評価し、大気中におけるNO2濃度測定に適用した際の課題を把握しセンサ開発にフィードバックする。二年目は、試作したセンサを交通量の多い道路沿道や一般環境における大気汚染物質観測施設内に設置して、実環境におけるNO2濃度を長期連続測定して、従来測定法である化学発光式NOx分析計による測定値と比較し、開発したNO2センサの精度、長期測定に対する安定性等を評価、大気測定用NO2センサとしての実用性を検証する。

今年度の研究概要

今年度は、開発したセンサを一般環境や道路沿道の大気汚染物質観測拠点に設置して、実環境におけるNO2濃度を長期連続測定し、従来測定法である化学発光式NOx分析計による測定値と比較し、開発したNO2センサの精度、長期測定に対する安定性等、大気測定用NO2センサとしての実用性を検証する。

備考

本研究は,堀場製作所,立命館大学と共同で実施している環境技術開発等推進費「自動車道路近傍における大気環境計測用小型高感度半導体式NO2ガスセンサの開発研究」の一環として国立環境研究所が分担している研究業務である。課題代表者である堀場製作所からの再委託業務となっている。

関連する研究課題
  • 0 : その他の研究活動

課題代表者

松橋 啓介

  • 社会環境システム研究センター
    環境政策研究室
  • 室長
  • 博士(工学)
  • 工学,土木工学,建築学
portrait

担当者

  • 加藤 秀樹
  • 小林 伸治